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A CMOS-MEMS filter using a V-coupler and electrical phase inversion

Sin categoríaPor aslogic23 agosto, 2010Deja un comentario

In this paper a fully integrated CMOS-MEMS filter is presented. The filter is formed by two beams using a V-shaped coupler which allows the in-plane vibrations. The device presents a BW of 1.85 MHz for a 29 MHz center frequency. The electrical phase inversion mechanism is used in order to obtain the filter response. The…

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